离子束刻蚀机离子束刻蚀机由真空室、工作台、快门、真空抽气系统、供气系统、水冷系统、电源和 ?电器系统等主要部分组成，图1-1所示为离子束刻蚀机的工作原理图。该机在正常工作 ?时，首先将真空室的压力抽至2×10-3Pa或更低，再调节Ar气流量，使真空室压力保持 ?在1×10-2~2×10-2Pa(如需要辅助气体，大样片离子束刻蚀机报价，如O2、CH2等，则可按一定比例与之混合)，大样片离子
