离子束刻蚀机表面抛光离子束能完成机械加工中的一道工序一-精抛光，以消除机械加工所产生的刻痕和表面应力。加工时只要严格选择溅射参数(入射离子能量、离子质量、离子入射角、样品表面温度等)，光学零件就可以获得较佳的表面质量，大样片离子束刻蚀机工作原理，且散射光较小。离子束拋光激光棒和光学元件的表面，大样片离子束刻蚀机哪家好，表面可以达到较高的均匀和一致性，而且元件本身在工艺过程中也不会被污染。
