无尘室需具备哪些因素能除去空气中飘游的微尘粒子及有害气体能防止微尘粒子的产生温度和湿度的控制无尘室内压力的调节,防止室外漂游的微尘粒子进入结构物与隔间的气密度静电的防制电磁干扰的预防安全因素的考量节能的考