无尘室等级划分1级：级的无尘室主要用于制造集成电路的微电子工 业，对集成电路的精度要求为亚微米。10级： 十级的无尘室主要用于带宽小于2微米的半导体工业。100级：百级无尘室并非无菌室，百级无尘车间对“无
