三维形貌测量参数主要技术指标：● 光源：150W光纤冷光源● 有效测量范围：细观：X、Y方向的有效测量范围：0.5×0.7mm2～5×7mm2X、Y方向的测量分辨力：0.5um～5.0um深度（Z）方向测量范围： 0.5um~300um(较大放大倍数)~5um~3mm( 较小放大倍数)Z方向测量分辨力： 0.01um(较大放大倍数)～0.1um(较小放大倍数)宏观：X、Y方向的有效测量范围
