密封件材料---常见的氟橡胶全氟橡胶优势：优异的耐高低温性能、使用温度为高可达325°、低温脆性为低可达-40°。有助于减低半导体制造工艺中的污染，因为它微粒产生少、析出物低、等离子环境中耐缓解。在真空密封应用中可表现出低释气性。耐N2O4体积溶胀率控
