催化燃烧的工艺组成不同的排放场合和不同的废气，高温催化燃烧处理设备定做，有不同的工艺流程。但不论采取哪种工艺流程，都由如下工艺单元组成。 ①废气预处理为了避免催化剂床层的堵塞和催化剂，废气在进入床层之前必须进行预处理，以除去废气中的粉尘、液滴及催化剂的毒物。②
