紫外线曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的设备.曝光机即电子束曝光机是集电子光学，电气，机械，真空，计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备.广泛应用于半导体，微电子，生物器件和纳米科技领.对于波长更短的深紫外光光源，可以使用准分子激光.例如KrF 准分子激光（248 nm），ArF 准分子激光（193 nm）和F2准分子
