曝光机是20 世纪60 年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来， 70 年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业.紫外线曝光机工作原理:在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形. 东莞市和川机械设备科技有限公司是较早从事冷光源曝光机研发制造的
