超高真空机组：工作在10-6-10-8Pa，除了要求真空室的材料出气率很低、漏气率很小、能经受200-450℃的高温烘烤外，对机组的要求还有：主泵的极限真空要高，LNG低温储罐抽真空，至少在10-7-10-8Pa以上。在超高真空的工作压力范围内主泵具有一定的抽速。来自主泵的返流气体的分压力要足够低；对被抽气体选择性强的主泵要配备足够大的辅助泵；机组主泵进气
