掩膜版：通俗化点了解，等于以往用胶卷冲洗照片时的胶片照片。胶片照片假如精密度不足，是洗不出去高精相片的。光刻技术工程施工前，要依据设计构思好的集成ic电路原理图制做掩膜板。掩膜板材料是石英玻璃，夹层玻璃上带金属铬和光感应胶。根据激光器在金属铬上绘图电路原理图。精密度规定十分高。镜片：用镜片的电子光学基本原理，将掩膜版上的电路原理图按占比变小，再用灯源投射的硅片上。光在数次投影时会造成电子光学偏差。
