荷兰的ASML公司垄断了高i端光刻机。但其透镜来自德国的蔡司,自己也做不了。光源是美国的Cymer.所以说它也不是完全技术独立。主要是技术难度太大。 其次是资金上的困难: 光刻机由于技术难度大,研发资金投入巨大,以至于佳能和索i尼都亏损严重,已经停止研发,退出未来技术的竞争。 荷兰的ASML,光刻版,为了筹集i资金,同时也是进行上下游利益捆绑,研发风险共担,邀请英特尔、三星和台积电出资,做自