广州帕纳光电科技有限公司----爱德华STP-301分子泵维修；增压分子泵系统软件实际操作常见问题及常见问题清除：(1)不可以在前面泵工作中时（前面管路接入）和真空室处在真空泵情况时将增压分子泵停用，不然可能使油蒸气过去级管路反流到泵的清理端。(2)分子泵系统软件在关机充干躁气体前，一定要先将分子泵冷却循环水关掉，且要从泵的高真空泵端打气。允许从泵的前面管路开展打气。爱德华STP-30
