广州帕纳光电科技有限公司----磁悬浮分子泵维修；当出現警示信息内容“EF”时，查验冷却循环水安全通道是不是通畅，并且用重机枪开展查验。在再度开启分子泵以前，请保证水道通畅。当出現别的报警系统时，禁止再度起动分子泵开展后处理工艺。 当分子泵出現常见故障没法应用时，磁悬浮分子泵维修中心，应中止生产制造，并在手动式填满气体后拆换预留分子泵； 当分子泵未启动，查验前面泵和继电器是不是一切正常
