真空检测系统目前基本都是用复合真空计，热偶规+电离规的组合，这个组合在遇到充入大量含有C元素的气体的工艺，电离规很容易毒化，造成电离规损坏，模具涂层设备厂，如果镀制含有大量C元素的气体的工艺，可以考虑，配置电容薄膜规。抽真空系统目前基本的抽真空系统是扩散泵系统和分子泵系统。分子泵系统属于清洁抽气系统，没有扩散泵的返油现象，抽速也相
