广州帕纳光电科技有限公司----爱德华STP-301分子泵维修；1926年，M.siegbahn在德国的高校试验室中开发设计了一种盘型分子泵，其构造与当代牵引式分子泵类似，泵壳上开了螺旋式槽，转子为一园盘。1939年，LEBOLD企业生产加工过两部，直徑540mm，槽的规格：里侧为22mm×22mm，两侧为22mm×毫米，转速比3700r/min，抽速达到73L/s。初期的分子泵均为牵
