在高温下 ，氧化锆属于立方萤石型结构，因为Zr4+直径大于O2-离子直径，所以可以认为，氧化锆(YSZ)晶体衬底，由Zr4+构成面心立方点阵，占据1/2的八面体空隙，O2-离子占据面心立方点阵所有四个四面体空隙。氧化锆由于ZrO2单晶需掺入钇（Y）以稳定其结构， 一般实际使用的是YSZ单晶――加入钇稳定剂（含量约19%）的氧化锆单晶。它机械、化学稳定性好，价格较低因而得以广泛应用。 氧化锆
