?洁净室压力控制方法，包括：独立的回风压力控制系统，仅提供一般的洁净室空调系统，以实现温度，湿度和压力的控制。由于差压控制系统所需求的结果发回，以调节排出空气的量，因此降低了系统的稳定性。对于系统内的许多因素影响的变化和压力控制要求严格的洁净室中的压力，可使用两种空调系统。其中恒定的风量空调系统中，室内温度和湿度控制;另一个系统主要用于控制在洁净室的压力。由于由单独的系统提供的压力控制，易于调整，
