广州帕纳光电科技有限公司----EDWARDS STP-301CB1；四级泵腔先后串连，每个级别泵腔内都有一对共轭点齿合，做同歩往复运动的爪型转子。四级泵腔中的级泵腔为呼吸级，其呼吸容量比后边三级大，产生级间缩小。四对转子装在二根平行面轴上，轴由左右两边滚动轴承支撑点，EDWARDS STP-301CB1，泵腔级与级中间有挡板，挡板上带吸排气管安全通道。EDWARDS STP-301C
