广州帕纳光电科技有限公司----Agilent TV301厂家；1、不能在前级泵工作时（前级管路接通）和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸气迅速从前级管路返流到泵的清洁端。2、分子泵系统在停机充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。广州帕纳光电科技有限公司----Agilent TV301厂家；在粗真空范围的应用
