阿尔卡特干泵ADP/ADS系列? ?ADP/ADS系列2产品的四种型号可满足不同真空要求，环境清洁的工艺应用可选择LM型，轻型或中型应用要求可选择P型，H型可供苛刻要求的工艺环境选择。许多来自半导体工业的主要制造商已经选择这一产品，这一选择使他们大大缩短了计划外停l工期，从而节约了运行成本，提高了利润率。特点：处理能力可靠性高宽交叉槽可容纳大量粉尘和颗粒精l确而闭合的温控系统、高操作温度以
