纳秒激光器二极管泵浦固态（DPSS）激光器是在20世纪90年代末被首先引入工业环境的。当时，首台此类激光器仅具有几瓦的低输出功率，其波长为355nm。在二极管泵浦之前，使用灯泵浦可获得激光，但是这类激光器是非常不可靠的。当时，纳秒激光器经销批发，几瓦的纳秒紫外光的成本超过10万美元。随后，纳秒激光器的市场变得越来越成熟，而这些激光器现在也可以从许多不同的制造商（提供红外、可见和紫外
