氩气和液氩有什么不同？高纯氩气的履行标准是GB/T10624—1995，质量要求到达99.999%以上。氩气是采用空气分离提氩，即将液化的空气进行精馏，得到粗氩.抽出粗氩，经进一步提纯可得到高纯氩，高纯氩在半导体工业中用作出产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体；在化学气相堆积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯氩也可作为色谱载气.氩被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和
