光波超精密——高速气浮微孔钻微沟槽节流型气浮轴承节流器由数个小孔以及微沟槽构成，见图3，也是一种表面复合节流型气浮轴承，这类气浮轴承没有设置腔室，但这种结构存在死容积区。主要缺点是倾侧刚度差、稳定性和阻尼以及动态性能等方面很差。实践证明：随着气隙高度增加，微沟槽型气浮轴承的承载能力和刚度均迅速下降。对于高速直线机构、或者高频主轴来说，上述问题可能会造成比较严重的后果。 自激振动大。多孔质材料节流型
