小型超纯水设备电去离子装置的工艺流程 1、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→电去离子装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水点(≥18MΩ.CM) 2、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→电去离子装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm