企业视频展播,请点击播放视频作者:巩义市威邦机械制造有限公司 半导体废气处理设备? ? ? ? ?废气介绍:由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类:酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。? ? ?? ?废气危害:半导体制造工艺中产生的废气如