性能要求编辑1.可用于对不同形状尺寸的基片进行喷胶.喷胶尺寸要求达到8寸。2.可对不同粘度的胶进行喷涂，植绒机，供胶分辨率在15uL以内。3.可对大深宽比结构进行侧壁涂胶，得到厚度均匀的胶膜。4.喷胶均匀性要求：单片表面≤±15%，片间为≤±10%。5.计算机系统控制工艺参数。6.可手动卸载基片。7.喷胶室易清洗。8.供胶流速和流量可编程。9.供胶回吸量可调节。10.适用于所有光刻胶和聚合物。11
