真空磁控溅射镀膜机机械泵的分类 1.机械泵的分类：机械泵有很多种，常用的有滑阀式(此首要使用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此现在使用广泛，这篇文章首要介绍)四种类型。2.机械泵是从大气开端作业的，它的首要参数有极限真空，抽气速率，此为规划与选用机械泵的重要依据。单级泵能够将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵能够将容器从大气抽到6.7*10-2帕，甚至
