真空炉在平时的试验中如果有液体存在,就需要一个液体蒸发的过程(高真空下不需要加热也能气化),可以通过长时间拉真空来气化掉这部分液体从而达到高真空(等稳定),如果长时间都达不到目标气压的话,就要考虑系统和罗茨泵了,你可以直接测一下极限真空(不接入其他系统),若完好则就是系统的密封性能了。 (1)水冷装置,真空热处理炉的炉壳、炉盖、电热元件导别处置(水冷电极)、中间真空隔热门等部件,均在真空