硅烷还有一潜在应用是制造陶瓷发动机零件尤其是使用硅烷制造硅化物( Si3N4 ， SiC等) 微粉技术越来越受重视。美、日等国正在花成亿美元开发用硅、氮化硅和碳化硅微粉制造耐高温、高强度、高化学稳定性陶瓷。使用硅烷气相反应的方法制备的微粉纯度较高， 粒度细而匀， 可使陶瓷零部件性能大大提高。硅烷偶联剂kh550其应用领域极广， 例如汽车发动机的阀门和透平增压器转子已实用化， 高速轴承和刀具
