液态氦气沸点极低，高纯氦气，当温度降至2液态氦气沸点极低，当温度降至2.178K时，高纯氦气标准，就转变为一种粘度接近于零的具有流动性的液氦，此时的液态氦气被称为超流体。液态氦气已实际应用在许多晶圆处理程序步骤中，它可在高压气相化学沉积(HP-CVD)以及蚀刻程序上作为晶背冷却之用，并且它也可用作为携载气体应用在CVD以沉积抗反射层、氧氮化合物及其它薄膜用。 一、气体种类1)压缩气体：氧，
