超声波提取设备发展超声波清洗技术经过几十年来的理论探讨和应用研究，无论设备还是工艺上均取得了较大的发展，连续逆流型提取设备，有关单位相继研发了一大批信的产品，也制定出了一次阿典型的清洗工艺。? ?1.高频超声清洗? ?对于象硅片表面小至零点几微米的超微污物粒子，常规的超声波清洗器无能为力，超声波提取设备，即使增加功率密度也无济于事。近年来发展了一种兆赫兹级的高频超声清洗技术，由于频率高，中
