硅烷已成为半导体微电子工艺中使用的的特种气体， 用于各种微电子薄膜制备， 包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。硅烷的微电子应用还在向纵深发展: 低温外延、选择外延、异质外延。不仅用于硅器件和硅集成电路，也用于化合物半导体器件(碳化硅等)。在超晶格阱材料制备中也有应用。可以说现代几乎所有的集成电路的生产线都需用到硅烷。硅烷的纯度对器件性能和成品率关系极大，更高的器件需要更高
