变压吸附空分制氧始创于20世纪60年代初(Skarstrom， 1960; Guerin de Montgarenil & Domine， 1964)，并于70年代实现工业化生产。在此之前，传统的工业空分装置大部分采用深冷精馏法(简称深冷法)80年代以来至今CaX和LiX等高吸附分离性能的沸石分子筛的相继开发利用和工艺流程的改进，使得变压吸附空分技术得到迅速地发展，与深冷空分装置相比，P
