UV光解法因采用光解原理，模块采取隔爆处理，消除了安全隐患，废气处理除尘设备，防火、防爆、防腐蚀性能高，设备性能安全稳定，特别适用于采油(气)田、石油化工、制药等防爆要求高的行业。 以上关于集成电路制造行业废气处理方法以及工艺介绍，希望可以帮到您，其实对于集成电路制造行业废气处理，环保废气处理设备，一般是需要根据废气的浓度、产生量、废气成分、如何收集等方面进行设计。 UV+O2→O-+O
