1.2集成电路行业VOCs主要成分 集成电路行业有机废气VOC的主要成分为和，此两项物质占比达VOCs主要成分80%-100 %，其中占比55%以上，占比5%-34%。 2.集成电路行业VOCs废气处理方法 集成电路行业废气主要成分VOCs废气，废气处理设备价格，目前对于VOCs废气处理方法主要有活性炭吸附法、低温等离子法、燃烧法、UV光解法。 超声波脱附超声波(场)是通过产生协同
