气相沉积气体:含卤化物及卤碳化合物为主，罐装氧气，如、三氟化氮(NF3（3）蚀刻清洗气体：以含卤素的卤化物及卤碳化合物为主，如、三氟化氮（NF3）、（HBr）、四氟化碳（CF4）、六氟（C2F6）等。（4）反应气体：以碳系及氮系氧化物为主，如二氧化碳（CO2）、氨（NH3）、氧化亚氮（N2O）等。（5）金属气相沉积气体：含卤化金属及有机烷类金属，如六氟化钨（WF6）、（Ga（CH3）3）等
