光谱仪器是测量、分析和处理物质结构和成分的基本设备，按光谱范围可分为真空紫外光谱仪、紫外-近红外光谱仪和红外光谱仪。光谱仪主要由光源、分光系统和接收系统3部分组成。其中分光系统是光谱仪器的主体，而衍射光栅（以下简称光栅）是分光系统的核心部分，它使复色光发生空间分离形成光谱。因此，光谱技术的进步及发展与光栅制造技术水平息息相关。根据光谱仪器的工作原理，光栅在较宽的波段范围都有较高的衍射效率
