基本参数 旋转工作台： 回转精度：（0.025+6H/10000）μm 回转速度：4、6、8、10rpm 台面承载：25kg 回转直径：560mm 测量直径：280mm 轴承类型：气浮轴承 垂直轴（Z轴）： 立柱行程：480mm 检测深度：100mm小内径：35mm 垂直移动方式：电动 立柱直线度：0.3μm/100mm 水平臂（X轴）： 水平移动：165mm
