基本参数 X向量程：100mm Z向量程：320mm 传感器范围：800μm 测量重复性：±1.5% 线性精度： ±3% 评定长度：λc X 3,4,5,6,7 截止波长：0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8mm 传感器量程范围：800μm/80μm 分辨率：12nm（800μm量程时）/ 1.2nm（80μm量程时） X轴及Z轴运动：电动 X轴及Z轴运动
