广州帕纳光电科技有限公司----安捷伦分子泵；工作条件 （1）转子转速达到20000r/min，故分子泵启动时间较长。 （2）气体处于分子流状态，故需要配备前级泵，一般使用旋片泵作为前级泵。分子泵特点 油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。 脂润滑分子泵：油脂量，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。 全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清
