广州帕纳光电科技有限公司----EDWARDS分子泵；离子泵的工作原理？1.产生放电；电子碰撞气体分子发生电离2.离子注入进入钛阴极3.钛阴极发生磁控溅射，在阳极上沉积钛膜4.气体分子在钛表面被吸附，然后被掩埋；EDWARDS分子泵离子泵和升华泵的优点有哪些？不需要前级泵、关闭电源后，仍有抽气作用，EDWARDS分子泵销售中心， 用于维持真空、离子泵和升华泵有哪些缺点？饱和效应明显，东
