真空烧结炉中不同的真空系统要求的真空度不同。因此往往必须由一套真空机组来完成，真空烧结炉，即由工作在不同压力范围的真空泵串接起来。高真空一侧的真空泵能达到系统要求的真空度，而低真空一侧的真空泵是直排大气的。显然简单的真空机组就是一台直排大气的真空泵。但高真空系统一般需要三级机组，中真空一般需要二级机组。对于较大型的高真空烧结炉设备，也可适当加强前级泵的预抽能力，进一步缩短抽气时间，由于预抽时间与整
