有机废气处理热破坏是目前应用比较广泛也是研究较多的有机废气治理方法 ，特别是对低浓度有机废气 ，有机化合物的热破坏可分为直接火焰燃烧和催化燃烧。直接火焰燃烧是一种有机物在气流中直接燃烧和辅助燃料燃烧的方法。多数情况下，有机物浓度较低 ，催化燃烧治理技术，不足以在没有辅助燃料时燃烧。直接火焰燃烧在适当温度和保留时间条件下 ，可以达到 99%的热处理效率。
催化燃烧设备主要是在催化剂作用下进行燃烧的装置或设备。其原理是利用催化剂使有机废气在较低的着火温度下无火焰燃烧，并将有机废气分解为无毒的二氧化碳和水蒸气。催化燃烧装置电控系统主要由PLC控制器、文本显示、变频调速器、点火器、紫外传感器、热电偶和风扇组成。催化燃烧设备电气控制系统的工作过程分为燃烧器的工作状态、停止状态和参数设置的三个状态。在工作状态下，又分为点火和燃烧过程。
催化燃烧一体化设备采用活性炭吸附、热气流脱附和催化燃烧三种组合工艺净化有机废气，利用活性炭多微孔及巨大的表面张力等特性将废气中的溶剂吸附，使所排废气得到净化为首要工作过程；活性炭吸附饱和后，按一定浓缩比把吸附在活性炭上的有机l溶剂用热气流脱出并送往催化燃烧床为第二工作过程；进入催化燃烧床的高浓度有机废气经过进一点步加热后，在催化剂的作用下氧气分解，转化成二氧化碳和水，分解释放出的热量经换热器回收后用于加热进入催化燃烧床的高浓度有机废气为第三工作过程 ，上述三个工作过程在运行一定时间达到平衡后，脱附、催化分解过程无需外加能源加热。
在石油炼制与石油化工行业，对于设备与管线组件、工艺排气、废气燃烧塔（火炬）、废水处理等过程产生的含VOCs废气污染防治技术措施包括：
1.对泵、压缩机、阀门、法兰等易发生泄漏的设备与管线组件，制定泄漏检测与修复（LDAR）计划，定期检测、及时修复，防止或减少跑、冒、滴、漏现象；
2.对生产装置排放的含VOCs工艺排气宜优先回收利用，不能（或不能完全）回收利用的经处理后达标排放；应急情况下的泄放气可导入燃烧塔（火炬），经过充分燃烧后排放；
3.废水收集和处理过程产生的含VOCs废气经收集处理后达标排放。
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