广州帕纳光电科技有限公司----EDWARDS分子泵；二十世纪七十年代末刚开始，大家对真空泵设备明确提出高些的规定，既除开能得到 高真空泵以外，还必须可以在排气管以后导进各式各样的汽体，并使其在真空泵设备中产生化学变化。EDWARDS分子泵广州帕纳光电科技有限公司----EDWARDS分子泵；1925年，M.siegbahn在德国的高校试验室中开发设计了一种盘型分子泵，其构造与当代行走
