广州帕纳光电科技有限公司----分子泵维修；当M2（方框2）或M7的真空度始终没有到位时，高真空涡轮分子泵维修，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作；?打开分子泵之前，必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后，必须关闭冷却水阀；?.每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏；?当出现警告信息“ EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机枪进行检查。 在再次打开分子
