广州帕纳光电科技有限公司----分子泵维修;当M2(方框2)或M7的真空度始终没有到位时,高真空涡轮分子泵维修,请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作;?打开分子泵之前,必须先打开冷却水阀。 分子泵的叶轮停止后,必须关闭冷却水阀;?.每次停机后,必须清洗每个分子泵的入口,以保持其清洁,以避免不必要的损坏;?当出现警告信息“ EF”时,检查冷却水通道是否畅通,并用机枪进行检查。 在再次打开分子