广州帕纳光电科技有限公司----安捷伦分子泵；检查滚珠轴承，如内外套磨损、旷动、滚珠磨损或表面有斑点都要更换。尚可使用的用或煤油将轴承清洗干净后涂黄油保存。检查叶轮上是否有裂痕或小孔，叶轮固定螺母是否松动，如有损坏应修理或更换。检查叶轮减磨环处间隙，如超过规定值，中山安捷伦分子泵，应修理或更换。若水泵和管道都不拆卸时，应用盖板将出口封好，以防杂物进入。广州帕纳光电科技有限公司----安
