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油封机械真空泵是使用的一种，它有单级、双级式，但性能较差，日本ULVAC，目前有润滑阀式真空泵，用于大型真空设备的排气方面，应用较广，单级泵极限真空可达1.3×10-4kPa，抽速为1200L/s。滑片式真空泵是所有低真空中使用广、生产品种全的泵，常用于真空冶炼、真空干燥、真空处理、电子器件排气等，也可以作为高真空的前级泵，极限真空1.3×10 -4～1.3×10-5kPa。
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一、真空管路或系统内返油1.油蒸气返流至真空管路或系统中2.油饱和蒸汽压不对3.停泵时，油返流4.截留阀板上的密封件毁坏5.抽支气管路底端密封件浸蚀或毁坏
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4、严苛防止真空泵油与其他润滑脂混和，更不可以渗入轻油品，否是将会危害真空泵特性。5、真空泵应尽量减少抽除，水蒸汽和有腐蚀汽体等，务必用时需勤查验、勤换油。6、换油时要将泵身体应用过的成品油排尽，将新油倒进后慢慢旋转泵轴，清理泵腔排尽残油，反复清理多次，等清洗后换入新油。
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