洁净室的四大要素㈠、洁净室的净化空调系统至少应有粗效、中效和高i效过滤器三级过滤措施。尤其是在终端应有高i效过滤器（HEPA）(ULPA)。㈡、洁净室送风应有足够的空调（消除室内余热、余湿）和净化（保持洁净度）送风量。其送风量不仅能消除室内的余热内的温度，同时还能消除或稀释室内粒子污染，保证室内的洁净度。㈢、洁净室必须建立和维持必要的相对压数（正压或负压）㈣、洁净室应有合理的气流流型，
