将钛酸锶薄膜进行退火处理，形成非晶薄膜；在所述非晶薄膜表面进行电子束蒸发溅射形成顶电极，得到非晶钛酸锶薄膜器件。钛酸锶熔点高，稳定性好，故钛酸锶晶体管将成为一种广泛应用的电子器件，亦可发展成为钛酸锶集成电路。把一层p型钛酸锶和一层n型钛酸锶外延在一起，这两层导电类型不同的钛酸锶薄膜在界面处就形成一个p-n结，这个p-n结就构成了钛酸锶晶体二极管。 钛酸锶( SrTio3)单晶体化学稳定性好
